超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有物均去除到很低程度的水处理设备。超纯水设备又称做：超纯水器，超纯水机，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。